LUH – Institut für Mikroproduktionstechnik

Die Forschungsaktivitäten des IMPT liegen im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Die Kernkompetenzen des Institutes liegen in der Dünnfilmtechnik, Strukturierungstechnik, der Aufbau- und Verbindungstechnik, der mechanischen Bearbeitung und der Charakterisierung von MEMS und MEMS-Werkstoffen.